Kalibreringsmetode for verktøymålemikroskop
Når det gjelder maskinfeilsøking av måleverktøymikroskopet, fra applikasjonssynspunkt, inkluderer det hovedsakelig nivåjustering av scenen, anti-sjokkjustering av arbeidsbenken, nivåjustering av okularmålerlinjen, nivåjustering av videosystem og nøyaktighetskorrigering osv. Følgende er en oppsummering én gang:
1. Nivåjustering av scenen: vurder om scenen er installert horisontalt i henhold til nivået plassert på scenen. Juster om nødvendig de tre støttebeina i henhold til den faktiske situasjonen til luftboblene i nivået holder seg på linjalen nær midten.
2. Antivibrasjonsjustering av arbeidsbenken: Hvis dataene på datadisplayet er ustabile når maskinen slås på, kan det bedømmes at arbeidsbenken ikke er stabil nok, noe som kan fullføres ved å legge til antivibrasjonsputer i arbeidsbenk og erstatte den med en sterkere arbeidsbenk.
3. Horisontal justering av okularets kryssformede linje: Finn et slående lite punkt innenfor synsfeltet til okularet med klart fokus, og flytt det til den ene enden av okularets krysslinje (X- og Y-retninger er akseptable, og X-retningen brukes her som kraften) Og justert, rist håndtaket i X-retningen, slik at den lille prikken beveger seg til den andre enden langs X-retningsmarkeringslinjen, hvis den lille prikken avviker fra X-retningsmarkeringslinjen , juster okularet til tilsvarende retning for å gjøre det lille punktet nær X-retningsmarkeringslinjen, på denne måten Gjentatt feilsøking til det lille punktet alltid kan forbli på X-retningsmarkeringslinjen når scenen beveger seg langs X-retningen .
4. Nivåjustering av videosystemet: (Dette elementet trenger vanligvis ikke å justeres, med mindre mikroskopet er utstyrt med et roterende bord og brukeren må justere nivået på komponentene gjennom frekvensmodulasjonssystemet) Ta en standardblokk mål og plasser den på det roterende bordet, bruk det justerte okularet. Juster hele blokken til nivået til risordlinjen; stram CCD (videosystem) og videogrensesnittet, koble det til mikroskopgrensesnittet og lås det; flytt den ene enden av blokkmåleren til enden av krysslinjen X-retning i programvarevinduet, og rist X-en Aksehåndtaket lar programvaren se den andre enden av blokkmåleren. Hvis hurtigmåleren avviker fra X-aksen, roter CCD-en for å få blokkmåleren til å nærme seg X-aksen (denne justeringsmetoden er den samme som okularjusteringsmetoden). Gjentatte justeringer på denne måten til blokkmåleren alltid beveger seg langs X-retningen, på dette tidspunktet kan det fysiske koordinatsystemet til CCD anses å være parallelt med det mekaniske koordinatsystemet til mikroskopstadiet.
