Vi introduserer et automatisert atomkraftmikroskop som aldri før
NX-3DM automatiske atomkraftmikroskopsystem lansert av Park Systems er spesialdesignet for overhengskonturer, høyoppløselig sideveggavbildning og kritisk vinkelmåling. Med det unike XY-akse- og Z-akse-uavhengige skanningssystemet og vippede Z-akseskanner, overvinner NX-3DM utfordringene fra normale og utstrakte hoder i nøyaktig sidevegganalyse. I True Non-Contact™-modus muliggjør NX-3DM ikke-destruktiv måling av myke fotoresister med tips med høyt sideforhold.
enestående presisjon
Ettersom halvledere blir mindre, må design nå være på nanoskala, men tradisjonelle måleverktøy kan ikke gi den presisjonen som kreves for design og produksjon i nanoskala. Overfor denne industrimålingsutfordringen har Park AFM gjort mange teknologiske gjennombrudd, for eksempel krysstale-eliminering, som kan oppnå artefaktfri og ikke-destruktiv bildebehandling; den nye 3D AFM gjør høyoppløselig bildebehandling av sidevegger og underskjæringsfunksjoner mulig.
enestående gjennomstrømning
På grunn av begrensningen av lav gjennomstrømning kan design i nanoskala ikke brukes i produksjonskvalitetskontroll, men atomkraftmikroskopi gjør det mulig. Med høykapasitetsløsningen utgitt av Park Systems, har atomkraftmikroskopi også gått inn i feltet for automatisert online produksjon. Dette inkluderer en innovativ magnetisk sondeerstatningsfunksjon med 99 prosent suksessrate, høyere enn konvensjonell vakuumteknologi. I tillegg krever prosess- og gjennomstrømningsoptimalisering aktivt samarbeid fra kunder for å levere komplette rådata.
Enestående kostnadseffektivitet
Presisjonen og høy gjennomstrømning av målinger i nanoskala må kobles sammen med kostnadseffektive løsninger for å skalere fra forskning til virkelige produksjonsapplikasjoner. For å møte denne kostnadsutfordringen, har Park Systems brakt en industrikvalitets atomkraftmikroskopløsning for å gjøre automatiserte målinger raskere og mer effektive, og gjøre sonder mer holdbare! Vi har gitt opp det langsomme og kostbare skanningselektronmikroskopet og byttet til det effektive, automatiserte og rimelige 3D-atomkraftmikroskopet for ytterligere å redusere målekostnadene ved online industriell produksjon. I dag trenger produsenter 3D-informasjon for å karakterisere grøfteprofiler og sideveggvariasjoner for nøyaktig å lokalisere feil i nye design. Den modulære AFM-plattformen muliggjør rask utskifting av maskinvare og programvare, noe som gjør oppgraderinger mer kostnadseffektive og kontinuerlig optimaliserer komplekse og krevende produksjonskvalitetskontrollmålinger. I tillegg varer våre AFM-sonder minst 2 ganger lenger, noe som reduserer eierkostnadene ytterligere. Tradisjonelle AFM-er bruker tappeskanning, noe som gjør spissen mer utsatt for slitasje, men vår True Non-Contact™-modus kan effektivt beskytte spissen og forlenge levetiden.
