Tykkelsesmålemetode for ultrasonisk skanningsmikroskop
Hvordan ultrasoniske skanningsmikroskoper fungerer
Blokkdiagrammet for ultralydsskanningsmikroskopsystemet er vist. Ultralydsendermottakeren genererer ultralydpulser med en spesifikk frekvens (5 MHz til 2 GHz), og når prøven gjennom koblingsmediet (som avionisert vann, alkohol, etc.). Siden overføring av ultralydenergi krever at mediet er kontinuerlig, vil diskontinuerlige grensesnitt som porer, urenheter, delamineringer, sprekker osv. forstyrre forplantningen av ultralydsignaler eller forårsake refleksjoner av ultralydsignaler. Når ultralydsignalet passerer gjennom prøven, på grunn av forskjellen i akustisk impedans for forskjellige materialer, vil reflekterte bølger vises i grensesnittet med defekter eller dårlig binding. Det reflekterte ekkosignalet mottatt av ultralydtransduseren overføres til A/D-datainnsamlingskortet gjennom ultralydsendermottakeren, og ekkosignalet behandles og vises på skjermen i form av en bølgeform. Det interne bildet av enheten som tilsvarer bølgeformen kan også vises på operasjonsgrensesnittet. Det tre-akse bevegelsessystemet bærer ultralydsvingeren for å skanne enheten som testes med høy hastighet, og oppnår til slutt et høyoppløselig ultralydbilde av det tilsvarende grensesnittet.
Prinsippet for ultrasonisk tykkelsesmåling
Frekvensen av ultralydbølger er høy, retningsevnen er god, og lydhastigheten i et homogent medium er den samme. Når ultralydpulsen generert av ultralydtransduseren når det målte objektet gjennom koblingsmidlet, trenger en del av ultralydsignalet gjennom det målte objektet, og den andre delen av ultralydsignalet reflekteres av bunnoverflaten av objektet. Ultralydsvingeren mottar ekkoet som reflekteres av bunnoverflaten av det målte laget, beregner nøyaktig rundturtiden til ultralydbølgen og beregner tykkelsesverdien i henhold til formel 1. Fra ultralydoverføringshastigheten til konvensjonelle materialer i Tabell 1, noen ofte brukte hastighetsdata kan bli funnet.
Metode for måling av tykkelse med ultralyd
Det skjematiske diagrammet over ultralydbølgeformen viser det tilsvarende forholdet mellom ultralydbølgen og dens passasje gjennom enheten. Fra den er nøkkelen til tykkelsesmålemetoden å finne bølgeformen til tykkelseslaget av interesse, sette frontoverflateporten til enheten og sette dataporten i tykkelseslaget av interesse. I Ultrasonic Scanning Microscope Smartscan-programvaren er nøkkelen hvordan du bestemmer tykkelsen på enheten og laget av interesse.
