Sammenlignet med tradisjonelle optiske mikroskoper og elektronmikroskoper, hvilke faktorer begrenser oppløsningskraften til atomkraftmikroskoper?
Oppløsningskraften til tradisjonelle optiske mikroskoper er begrenset av lysets diffraksjonsgrense, og dens minste oppløsningsavstand er halvparten av lysets bølgelengde. Oppløsningskraften til elektronmikroskopet er også begrenset av diffraksjonsgrensen, og dens minste oppløsningskraft er halvparten av elektron de Broglie-bølgelengden, slik at elektronmikroskopet kan oppnå en høyere oppløsningskraft enn det tradisjonelle optiske mikroskopet.
Oppløsningskraften til atomkraftmikroskopet avhenger hovedsakelig av: størrelsen på sondespissen; den elastiske koeffisienten til mikro-cantileveren, jo lavere den elastiske koeffisienten, desto mer følsom er atomkraftmikroskopet; forholdet mellom lengden på utkragingen og lengden på laserlyset; følsomheten til PSD-detektoren for punktposisjonen. For et bilde med en viss oppløsning, jo mindre skanningsområdet er, desto finere oppnås overflatetopografi.
