Elektronmikroskop har flere deler
Elektronmikroskopet består av tre deler: linsehylse, vakuumenhet og strømforsyningsskap.
1. Linsehylsen inkluderer hovedsakelig elektronkilder, elektronlinser, prøveholdere, fluorescerende skjermer og detektorer. Disse komponentene er vanligvis satt sammen til en sylinder fra topp til bunn.
Elektronlinsen brukes til å fokusere elektroner og er den viktigste komponenten i elektronmikroskopet. Vanligvis brukes magnetiske linser, og noen ganger brukes også elektrostatiske linser.
2. Vakuumanordningen brukes til å sikre vakuumtilstanden i mikroskopet, slik at elektroner ikke blir absorbert eller avbøyd på veien. Den er sammensatt av en mekanisk vakuumpumpe, en diffusjonspumpe og en vakuumventil, og er koblet til linserøret gjennom et eksosrør.
3. Strømskapet er sammensatt av en høyspenningsgenerator, en magnetiseringsstrømstabilisator og ulike justeringskontrollenheter.
