Hva er arbeidsprinsippet til et skanningselektronmikroskop?
På grunn av det faktum at transmisjonselektronmikroskopi brukes til TE-avbildning, er det nødvendig å sikre at tykkelsen på prøven er innenfor størrelsesområdet som elektronstrålen kan trenge gjennom. For å oppnå dette er det nødvendig med ulike tungvinte prøveforberedelsesmetoder for å transformere store prøver til et nivå som er akseptabelt for transmisjonselektronmikroskopi.
Målet for forskere er å direkte utnytte materialegenskapene til prøveoverflatematerialer for mikroskopisk avbildning.
Gjennom innsats har denne ideen blitt en realitet - Skanneelektronmikroskop (SEM).
SEM - Elektronoptikkinstrument som skanner overflaten av den observerte prøven med en veldig tynn elektronstråle, samler en serie elektronisk informasjon generert av interaksjonen mellom elektronstrålen og prøven, og bilder etter konvertering og forsterkning. Det er et nyttig verktøy for å studere tredimensjonale overflatestrukturer.
Dens arbeidsprinsipp er:
I høyvakuumlinserøret blir elektronstrålen generert av elektronkanonen fokusert til en fin stråle av elektronkonvergenslinsen, og deretter skanner og bombarderer prøveoverflaten punkt for punkt for å generere en serie elektronisk informasjon (sekundære elektroner, bakside refleksjonselektroner, transmisjonselektroner, absorpsjonselektroner, etc.). Detektoren mottar ulike elektroniske signaler, forsterker dem av den elektroniske forsterkeren, og legger dem deretter inn i billedrøret som styres av billedrørsnettet.
Når du skanner overflaten av prøven med en fokusert elektronstråle, på grunn av de forskjellige fysiske og kjemiske egenskapene, overflatepotensialet, elementsammensetningen og konkav konveks morfologi til overflaten i forskjellige deler av prøven, blir den elektroniske informasjonen eksitert av elektronstrålen er forskjellig, noe som resulterer i den konstante endringen av elektronstråleintensiteten til avbildningsrøret. Til slutt kan et bilde som korresponderer med overflatestrukturen til prøven oppnås på lysstoffrøret til avbildningsrøret. I henhold til de forskjellige elektroniske signalene som mottas av detektoren, kan det tilbakespredte elektronbildet, sekundærelektronbildet og absorpsjonselektronbildet av prøven oppnås henholdsvis.
Som beskrevet ovenfor har et skanningselektronmikroskop stort sett følgende moduler: Elektronoptikksystemmodul, høyspentmodul, vakuumsystemmodul, mikrosignaldeteksjonsmodul, kontrollmodul, mikroforskyvningstabellkontrollmodul, etc.
